美日對華半導(dǎo)體閥門等設(shè)備及零部件實施嚴格禁運，引發(fā)國產(chǎn)替代緊迫性。

2024年12月2日，美國發(fā)布了對華半導(dǎo)體出口管制措施，進一步加嚴對半導(dǎo)體制造設(shè)備、存儲芯片等物項的對華出口管制，并將140家中國實體增列至出口管制實體清單，還拓展長臂管轄，對中國與第三國貿(mào)易橫加干涉。

自美國政府將一批中國實體列入出口管制實體清單后，為配合美國對華芯片產(chǎn)業(yè)鏈制裁，日本政府反應(yīng)迅速，加嚴了對華的半導(dǎo)體零部件出口限制。

此次禁運令不僅涵蓋了廣泛的半導(dǎo)體設(shè)備及零部件品類，而且在管制強度上也達到歷史之最。據(jù)供應(yīng)鏈消息，美系廠商如世偉洛克（Swagelok）、Parker Hannifin等已告知實體清單上的140家客戶列為禁售。

根據(jù)行業(yè)研究機構(gòu)調(diào)研報告，自禁運令實施以來，半導(dǎo)體設(shè)備閥門的庫存量急劇減少，且交貨周期不斷延長。外資品牌的斷供現(xiàn)象已經(jīng)發(fā)生，導(dǎo)致國產(chǎn)品牌的價格上漲了10-20%。同時，交貨周期也由原來的1個月延長至3-6個月。在訂單端，打樣訂單的數(shù)量環(huán)比大幅提升，終端用戶和代理商都在加緊備貨，以應(yīng)對可能的供應(yīng)鏈風(fēng)險。

半導(dǎo)體閥門的應(yīng)用與市場格局

半導(dǎo)體閥門在晶圓生產(chǎn)過程中扮演著至關(guān)重要的角色，它們被廣泛應(yīng)用于真空系統(tǒng)與流體系統(tǒng)內(nèi)，涵蓋了化學(xué)氣相沉積(CVD)、光刻、離子注入、物理氣相沉積(PVD)、快速熱處理(RTP)、濕法刻蝕(WET)、CMP等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)。在真空系統(tǒng)中，隔離閥、控制閥、傳輸閥等是常用的閥門類型；而在流體系統(tǒng)中，則主要采用隔膜閥、調(diào)壓閥、波紋管閥、單向閥等。

目前，全球半導(dǎo)體閥門市場呈現(xiàn)出高度集中的態(tài)勢，被少數(shù)外資巨頭所壟斷。其中，真空系統(tǒng)閥門市場由瑞士VAT公司主導(dǎo)，其2021年的全球市場份額高達75%。此外，MKS（美國）、VTEX（日本）、CKD（日本）、SMC（日本）、Ulvac（日本）等廠商也占據(jù)了不小的市場份額。在流體系統(tǒng)閥門市場方面，主要參與者同樣為美日企業(yè)，包括Swagelok（美國）、Fujikin（日本）、Parker Hannifin（美國）等。

國產(chǎn)替代的緊迫性與機遇

由于半導(dǎo)體閥門技術(shù)壁壘高且客戶認證周期長，受制于技術(shù)難度和產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗積累不足，當前中國半導(dǎo)體閥門的國產(chǎn)率低，大量依賴進口。尤其是在設(shè)備端的高端半導(dǎo)體閥門領(lǐng)域，國產(chǎn)替代幾乎為空白。在美國對華芯片產(chǎn)業(yè)鏈制裁不斷升級的背景下，設(shè)備廠和Fab廠為了保證供應(yīng)鏈安全，對國產(chǎn)替代的需求日益強烈。

據(jù)了解，目前國內(nèi)已有一批上市或非上市企業(yè)開始積極布局半導(dǎo)體閥門市場。上市公司中，新萊應(yīng)材已成功打入國內(nèi)外頭部客戶體系，包括眾多國際知名設(shè)備廠商，同時公司有多個新產(chǎn)品在加速研發(fā)完成送樣。晶盛機電的子公司晶鴻精密與日本Primet合資成立的紹興普萊美特，已經(jīng)實現(xiàn)了6款隔膜閥的客戶驗證并量產(chǎn)。此外，還有多家非上市公司也在積極推出相關(guān)產(chǎn)品，加速國產(chǎn)替代進程。

隨著特朗普當選美國總統(tǒng)，無論是BIS清單的擴大、敦促Nvidia等企業(yè)排查在華產(chǎn)業(yè)鏈，還是限制AI芯片出口等措施，都顯示出美國對華技術(shù)封鎖將進一步加強的趨勢。在此背景下，國產(chǎn)替代將成為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必由之路。

閥門斷供陸續(xù)有賣方首席分析師跟進調(diào)研。近期，自主可控以及光刻機等板塊出現(xiàn)了反彈跡象，市場正密切關(guān)注斷供的后續(xù)發(fā)酵以及國產(chǎn)替代的進展。