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ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀是法國ALCATEL-ADIXEN公司最新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質(zhì)譜檢漏儀器。?
??? 氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。?此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。??
二 系統(tǒng)配置:??
ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主要包括以下器件:?
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序號? |
設(shè)備名稱 |
??序列號 |
數(shù)量 |
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1 |
ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主機(jī)（包括一臺機(jī)械泵、一臺分子泵、一個質(zhì)譜室、信號放大器等儀器必須的部件。） |
T0R00000B810 |
一套 |
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2? |
ALCATEL 200號油（1升/桶） |
068694 |
1桶 |
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3 |
燈絲? FILAMENT |
?053146 |
1備1用 |
三 技術(shù)規(guī)格:?
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靈敏度： |
5.0×10-12mbar.l/s |
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漏率顯示范圍： |
5?×10-12 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He) |
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達(dá)到檢漏的時(shí)間（空盒時(shí)）： |
小于30秒 |
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? |
發(fā)射電流顯示： |
0.2—2mA |
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檢漏口對氦氣的抽速： |
1.3升/秒 |
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啟動時(shí)間： |
小于3分鐘 |
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接口尺寸: |
DN 25 KF |
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外觀尺寸： |
510′343′428mm |
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重量： |
56Kg |
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電源： |
220V 50Hz 單相 |
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符合美國真空標(biāo)準(zhǔn)AVS2.1 以及國際標(biāo)準(zhǔn)ISO3530的標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)置式標(biāo)準(zhǔn)漏孔，帶自動溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。開機(jī)3分鐘后完成全部準(zhǔn)備工作。數(shù)顯工作界面；數(shù)字顯示漏率，帶音頻報(bào)警。所有工作參數(shù)可以通過菜單設(shè)定和修改。可以設(shè)置報(bào)廢點(diǎn)。質(zhì)譜室自動保護(hù)：有效防止大氣突然沖入對燈絲及質(zhì)譜室的損害。 |
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