Horiba SEC-E40質(zhì)量流量控制器

公司基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

質(zhì)量流量控制器

SEC-E40 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)

適用于從微小流量到大流量控制的低成本型號(hào)

概要

· 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制

· 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)中，擁有眾多的銷售業(yè)績(jī)，引以為豪。

· 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào)： SEC-E40MK3/E50MK3

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (質(zhì)量流量計(jì))	E40	E50
適用氣體種類*1		非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號(hào)		非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM

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