1、 擴(kuò)散泵機(jī)組是用來獲得高真空的主要設(shè)備，主要由油擴(kuò)散泵、

閥門、水冷檔板、管道、機(jī)械真空泵及控制測量部分等組成，

可獲得（10^-2—10^-4Pa）的工作真空度。

2、 機(jī)組抽氣范圍為110L/s至60000L/s，可長時(shí)間穩(wěn)定連續(xù)工作。

3、 廣泛應(yīng)用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫(yī)

藥、原子能、宇宙探測等高科技領(lǐng)域。如各種真空爐、真空

鍍膜設(shè)備，真空冷凍干燥設(shè)備等。