FONDA硅片研磨機(jī)|硅片研磨機(jī)精度|硅片研磨機(jī)操作

產(chǎn)品價(jià)格：	0/人民幣
最后更新：	2011-12-16 17:16:02
產(chǎn)品產(chǎn)地：	深圳
發(fā)貨地：	深圳 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
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公司基本資料信息

深圳市方達(dá)研磨技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

方達(dá)研磨FONDA硅片研磨機(jī)|硅片研磨機(jī)精度|硅片研磨機(jī)，可對超薄硅片進(jìn)行研磨拋光加工，最小可磨到厚度0.2mm的硅片不破碎，不塌邊，直徑最大可磨到450mm，可達(dá)完美的鏡面效果，光潔度最高0.2nm。歡迎免費(fèi)試樣：www.szfangda.cn www.szfangda.com.cn
1．通常研磨盤修面的方式是采用電鍍修整輪來修面，這種方式得到的修面不太理想，通過修整機(jī)構(gòu)修面后，平面度可達(dá)到±0.002mm2．系列研磨機(jī)工件加壓采用氣缸加壓的方式，壓力可調(diào)；3．系列硅片研磨機(jī)采用PLC程控系統(tǒng)，觸摸屏操作面板，研磨盤轉(zhuǎn)速與定時(shí)可直接在觸摸屏上輸入。
技術(shù)參數(shù)：
型號   YM-15LX   YM-18LX   YM-20LX   YM-24LX
研磨盤規(guī)格   φ380×φ140×12t    φ460×φ140×12t   φ510×φ160×12t      φ610×φ180×12t
最大工件尺寸 φ130mm          φ170mm          φ190mm          φ230mm
陶瓷修正輪規(guī)格φ178mm*φ140mm3個(gè)   φ220mm*φ180mm3個(gè)    φ240mm*φ200mm3個(gè)      φ280mm*φ240mm3個(gè)
研磨盤轉(zhuǎn)速 0~200rpm  0~200rpm         0~180rpm        0~160rpm
定時(shí)范圍 99分59秒   99分59秒         99分59秒  99分59秒
主電機(jī)功率     1.5kw.380V3相       1.5kw.380V3相        2.2kw.80V3相          3.7kw.380V3相
修面電機(jī)功率   0.1kw.380V3相       0.1kw.380V3相       0.2kw.380V3相          0.2kw.380V3相
修面速度      0---250mm/分鐘      0---250mm/分鐘       0---250mm/分鐘          0---250mm/分鐘
外形尺寸     750*1200*1550mm       800*1250*1550        950*1480*1600          1050*1600*1700
重量   850kg         1100kg           1300kg             1800kg
1．本硅片研磨機(jī)為精密研磨拋光設(shè)備，被磨、拋材料放于研磨盤上，研磨盤逆時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng)，修正輪帶動(dòng)工件自轉(zhuǎn)，重力加壓的方式對工件施壓，工件與研磨盤作相對運(yùn)轉(zhuǎn)磨擦，來達(dá)到研磨拋光目的。2．研磨盤修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動(dòng)，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行精密修整，得到理想的平面效果。

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