Aera FC-D770 工業(yè)用數(shù)字質(zhì)量流量控制器滿足了工業(yè)制造中獨(dú)特的需求,同時(shí)帶來了杰出的性能和價(jià)值。它的設(shè)計(jì)整合了工業(yè)環(huán)境所必需的輸入/輸出選項(xiàng)。這些選項(xiàng)是帶有多氣體多量程 (MGMR) 功能以及成本低的彈性體密封件。憑借出色的速度、精確性和可重復(fù)性,Aera FC-D770 質(zhì)量流量控制器提高了產(chǎn)量和薄膜品質(zhì)。現(xiàn)場可編程的 MGMR 選擇也同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高度的便利性和靈活性。
性能:
出眾的薄膜和蝕刻品質(zhì)
更大的產(chǎn)量
最大限度的便利性和靈活性
世界級的服務(wù)和支持
特點(diǎn):
杰出的速度、精確性、穩(wěn)定性和可重復(fù)性
卓越的可靠性
經(jīng)濟(jì)型彈性體密封件設(shè)計(jì)
多氣體多量程選項(xiàng)
容易進(jìn)行現(xiàn)場編程
具有重新校準(zhǔn)功能的無限制氣體選擇
迅速整合
RS-485、RS-232、電流回路以及模擬控制
多重警報(bào)和診斷功能