程控智能勻膠機(jī) （Spin Master-100）

Spin Master 100是由美國Chemat公司開發(fā)高精密的旋轉(zhuǎn)涂膜儀。主要為高等院校、科研院所、研發(fā)中心等進(jìn)行研究，開發(fā)各種功能薄膜所用。適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃、生物薄膜、制版等工藝表面涂覆。

特色：

u      機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、永不生銹，便于清洗。

u      采用全色7英寸觸摸屏控制面板，直觀簡單更方便操作。

u      圖形顯示即時旋涂速度和時間，設(shè)置的參數(shù)旋涂過程一目了然。（圖1）

u      內(nèi)置電腦控制，Windows操作界面， USB接口與打印機(jī)等外部設(shè)備連接（可選）。

u      不銹鋼腔體、聚四氟乙烯腔體（可選）。

u      自定義鍍膜程序、鍍膜步驟任意可變。40種鍍膜程序，每種程序可以設(shè)置40個步驟（可據(jù)用戶要求任意擴(kuò)展） 咳咳咳電腦。

主要技術(shù)指標(biāo)：

鍍膜時間設(shè)置： 1～999 sec/ step

旋涂速度：0～ 5,000 rpm

旋涂加速度：0 ～ 30,000 rpm/s （空載）   

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：1 rpm

轉(zhuǎn)速可重復(fù)性：1 rpm