
氣體傳感器介紹
氣體繁多,性質(zhì)各異,因此,氣體傳感器也很多。按待檢氣體性質(zhì)可分為:用于易燃易爆氣體傳感器,如氫氣、一氧碳、瓦斯、汽油揮發(fā)氣等;用于有毒氣體傳感器,如氣、硫氫、砷烷等;用于工業(yè)氣體傳感器,如煉鋼爐中氧氣、熱處理爐中二氧碳;用于大氣污染傳感器,如形成雨NOx、CH4、O3,家庭污染如醛等。按氣體傳感器還可分為干式和濕式兩類;按傳感器輸出可分為電阻式和阻式兩類;按院里可分為電學(xué)法、電氣法、光學(xué)法、學(xué)法幾類。
氣體傳感器描述
氣敏二極管特性曲線左移看作二極管導(dǎo)通電壓發(fā)生改變,這一特性如果發(fā)生在場(chǎng)效應(yīng)管柵極,將使場(chǎng)效應(yīng)管閾值電壓UT改變。利用這一制成MOSFET型氣敏器件。
氫氣敏MOSFET是典型氣敏器件,它用金屬鈀Pd制成鈀柵。在含有氫氣氣氛中,由于鈀催,氫氣分子成氫原子擴(kuò)散到鈀與二氧硅界面,終導(dǎo)致MOSFET閾值電壓UT發(fā)生變。時(shí)常將柵漏短接,MOSFET在飽和區(qū),此時(shí)漏極電流ID=βUGS—UT2,利用這一電路測(cè)出氫氣濃度。
氣體傳感器定做
1、靈敏度
當(dāng)氫氣濃度較低時(shí),氫氣敏MOSFET靈敏度很高,1ppm氫氣濃度變,△UT值可10mV,當(dāng)氫氣濃度較高時(shí),傳感器靈敏度會(huì)降低。2、對(duì)氣體性
鈀原子間“空隙”恰能讓氫原子通過(guò),因此,鈀柵只允許氫氣通過(guò),有很性。3、響應(yīng)時(shí)間
這種器件響應(yīng)時(shí)間受溫度、氫氣濃度影響,溫度越高,氫氣濃度越高,響應(yīng)越快,常溫下響應(yīng)時(shí)間為幾十秒。