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由于氣體種類(lèi)繁多,性能不同,因此有多種氣體傳感器。根據(jù)要測(cè)試的氣體的性質(zhì),可以分為:用于檢測(cè)易燃和易爆氣體的傳感器,如氫、一氧碳、氣體、汽油揮發(fā)性氣體等;用于檢測(cè)有毒氣體的傳感器,如、硫氫、砷等;用于檢測(cè)工業(yè)過(guò)程中的氣體的傳感器,如煉鋼爐中的氧氣、熱處理爐中的二氧碳;用于檢測(cè)大氣污染的傳感器,如雨。NOx、CH4、O3,家庭污染如醛等。按氣體傳感器的結(jié)構(gòu)還可分為干式和濕式兩類(lèi);按傳感器的輸出可分為電阻式和費(fèi)電阻式兩類(lèi);按檢測(cè)院里可分為電學(xué)法、電氣法、光學(xué)法、學(xué)法幾類(lèi)。
發(fā)現(xiàn)SnO_2、ZnO、Fe_2O_3、Cr_2O_3、MgO、NiO_2等材料具有氣體敏感性,這些金屬氧物制成的氣體敏感膜是一種阻抗裝置,能夠在氣體分子和敏感膜之間交換離子,導(dǎo)致敏感膜電阻變。器有助于氧反應(yīng)進(jìn)程。
按品質(zhì)測(cè)算,在SnO2中添加3~5%的ThO2,5%的Sm2.在600℃的H2氛圍中煅燒,做成厚膜元器件,操作溫度為400℃。則可做為CO檢驗(yàn)元器件。圖中下圖是煅燒溫度為600℃時(shí)氣敏元器件的特點(diǎn)??煽吹贸觯僮鳒囟仍?70~200℃范圍之內(nèi),對(duì)H2的敏感度曲線圖呈雙曲線,而對(duì)CO更改操作溫度則危害并不大,因而,利用器件這一特性可以檢測(cè)H2。而燒結(jié)溫度為400℃制成的器件,工作溫度為200℃時(shí),對(duì)H2、CO的靈敏度曲線形狀都近似呈直線,但對(duì)CO的靈敏度要高得多,可以制成對(duì)CO敏感的氣體傳感器。