HMDS預處理真空烘箱

產品價格：	/人民幣
最后更新：	2025-08-29 09:53:48
產品產地：	江蘇昆山市
發(fā)貨地：	本地至全國 (發(fā)貨期：當天內發(fā)貨)
供應數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
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公司基本資料信息

蘇州伊諾華科工業(yè)設備有限公司
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產品詳細說明

HMDS烘箱，晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預處理，增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設備適用于在涂膠前對晶片進行預處理，集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預抽真空，充氮加熱循環(huán)進行，既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠防止硅片的氧化和雜質的擴散，并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對人體無害的顯著優(yōu)點；也可用于晶片其它工藝的清洗。

設備型號	HMDS-90
溫度范圍	RT+25~200°C
溫度分辨率	±0.1°C
極限真空度	＜10pa
抽氣速率	4L/S 常壓~100pa時間＜5min
氧含量	＜10ppm
潔凈度	class10
控制方式	PLC+觸摸屏（人機交互界面）
內腔尺寸	W450mmD450mmH450mm
氮氣流量	0-100L/min
電源功耗	AC220V 50HZ 4.5KW
箱體	3mm優(yōu)質SUS316#潔凈不銹鋼內膽
外殼	SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆
保溫材料	環(huán)保無油型陶瓷纖維防火阻燃材料
安全保護措施	1.接地保護 2.過載保護 3.超溫保護

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