AS NanoPWM驅(qū)動器

1.ACS NanoPWM驅(qū)動器概述

替代線性驅(qū)動器

利用ACS所***NanoPWM技術(shù)，PWM驅(qū)動器的電機電流動態(tài)控制范圍達到***的100,000(100db)，提供***靜止抖動和速度平滑性能。

相較于***的商業(yè)上可用的線性驅(qū)動器NanoPWMM驅(qū)動器提供更好的運動性能(可以***的)，更小的安裝尺寸，***的熱耗散和更經(jīng)濟的價格。NamoPWMm驅(qū)動器是450MM和300MM晶圓處理平臺的理想驅(qū)動器，同時也是其它需要實現(xiàn)高速度和高加速度，平滑速度和亞納米級抖動應用的理想選擇。

2.ACS NanoPWM驅(qū)動器性能

用一個SpiiPlus的控制器和NanoPWMMa驅(qū)動器控制一個直線平臺，可以達到下面的性能：

靜止抖動小于±0.3納米(機械平臺)

跟隨誤差在速度100MM/秒時為±10納米(氣浮平臺)

3.NanoPWM驅(qū)動器供應型號：

1：EtherCAT從站式的NanoPWMM驅(qū)動器可與任意ACS運動控制器配合使用。型號如：MC4U，MP4U，NPMpc， NPMpm。

2：帶±10V正弦換向命令的驅(qū)動器，可以直接替代線性驅(qū)動器，型號包括：NPApc, NPApm, NPArm.