系列：控制電源

  產(chǎn)品描述

  RPS AX7695 MKS遠程等離子源

  產(chǎn)品品名:MKS RPS AX7695遠程等離子源

  系列:RPS系列

  作用:產(chǎn)生高密度、均勻的等離子體，用于材料改性、表面處理、薄膜沉積等多種應用。

  用途:

  半導體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等

  光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等

  顯示器制造:蝕刻、沉積等

  其他:生物醫(yī)學、航空航天、汽車制造等

  特征:

  高密度、均勻的等離子體

  可控的等離子體參數(shù)

  穩(wěn)定的運行

  易于維護

  產(chǎn)品說明:

  MKS RPS AX7695遠程等離子源是一款高性能、高可靠性的遠程等離子源，采用先進的射頻(RF)技術(shù)和微波技術(shù)制造而成。它具有高密度、均勻的等離子體、可控的等離子體參數(shù)、穩(wěn)定的運行、易于維護等特點，可廣泛應用于半導體制造、光伏制造、顯示器制造等多種領(lǐng)域。

  產(chǎn)品描述:

  MKS RPS AX7695遠程等離子源由電源、匹配網(wǎng)絡(luò)、等離子體腔體等組成。電源產(chǎn)生高頻或微波能量，通過匹配網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)降入x子體腔體。在等離子體腔體內(nèi)，電磁場將氣體激發(fā)成等離子體。等離子體通過等離子體出口射向目標表面，進行材料改性、表面處理、薄膜沉積等操作。

  產(chǎn)品參數(shù):

  型號:RPS AX7695

  頻率:13.56 MHz

  功率:2 kW

  等離子體密度:>10^12 cm^-3

  等離子體均勻性:<5%

  產(chǎn)品規(guī)格:

  尺寸:600 mm x 400 mm x 300 mm

  重量:20 kg

  應用領(lǐng)域:

  MKS RPS AX7695遠程等離子源廣泛應用于以下領(lǐng)域:

  半導體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等

  光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等

  顯示器制造:蝕刻、沉積等

  其他:生物醫(yī)學、航空航天、汽車制造等