SJ6000精密測量激光干涉儀環(huán)境適應(yīng)能力好，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。使用激光干涉儀測量定位誤差，并用檢定軟件進行記錄，可以輕松獲取軸上多點測量的誤差表。這些誤差能夠被轉(zhuǎn)譯成補償值，在相應(yīng)機床控制器軟件位置進行補償值的寫入，實現(xiàn)機床的定位誤差補償（螺距補償）、反向間隙補償。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）SJ6000精密測量激光干涉儀具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當(dāng)前有效且廣泛應(yīng)用的方法就是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。

SJ6000精密測量激光干涉儀對機床運動導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項參數(shù)檢測分析、校準(zhǔn)補償具有重要性，而機床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試、分析。