在溫度大于零的所有氣體中，均存在一定的電離現(xiàn)象。任何細(xì)微的射線及其他能量都可能使氣體中的分子被加速而獲取能量，當(dāng)其能量高于氣體的電離能時(shí)，電子與分子間的碰撞將導(dǎo)致該氣體的電離。

離子凈化技術(shù)正是基于這種理論進(jìn)行研發(fā)的。在電場(chǎng)作用下，離子發(fā)生器產(chǎn)生大量的α粒子，α粒子與空氣中的氧分子進(jìn)行碰撞而形成正、負(fù)氧離子。正氧離子具有很強(qiáng)的氧化性，能在較短的時(shí)間內(nèi)氧化、分解甲硫醇、氨、硫化氫等污染因子，且在與VOC(揮發(fā)性有機(jī)化合物)分子相接觸后打開有機(jī)揮發(fā)性氣體的化學(xué)鍵，經(jīng)過一系列的反應(yīng)，生成二氧化碳和水等穩(wěn)定無(wú)害的小分子。同時(shí)，氧離子能破壞空氣中細(xì)菌的生存環(huán)境，降低室內(nèi)空間細(xì)菌濃度，帶電離子可以吸附大于自身重量幾十倍的懸浮顆粒，靠自重沉降下來(lái)，從而清除空中懸浮膠體，達(dá)到凈化空氣的目的。

等離子法廢氣處理系統(tǒng)成主要由主反應(yīng)器，光觸媒反應(yīng)導(dǎo)入裝置等組成。廢氣經(jīng)過收集系統(tǒng)收集后進(jìn)入離子催化氧化廢氣處理合成系統(tǒng)，離子反應(yīng)導(dǎo)入裝置對(duì)主反應(yīng)器產(chǎn)生離子，在其內(nèi)部的價(jià)電子被激發(fā)跨過禁帶躍入導(dǎo)帶，生成的電子空穴被導(dǎo)入主反應(yīng)器內(nèi)，并擴(kuò)散到反應(yīng)器內(nèi)過濾板的二氧化鈦表面上，穿過界面與吸附在過濾板上的物質(zhì)發(fā)生氧化還原反應(yīng)。其空穴能量7.5eV，氧化電位+3.0V，具有較強(qiáng)的氧化能力，能夠氧化有機(jī)化合物，達(dá)完全礦化的程度，生成二氧化碳、水和無(wú)機(jī)物。以氧化作為氧化劑，它幾乎毫無(wú)選擇對(duì)廢氣中大量有機(jī)污染組分進(jìn)行氧化分解，且整個(gè)分解過程很快，只需要短暫的停留時(shí)間即可以分解掉有機(jī)污染組分，該處理設(shè)備可謂處理工藝的核心部分，正常運(yùn)行情況下除臭效率可達(dá)90%，能處理多種臭氣組成的混合氣體。另外，借助離子體中的離子與物體的凝并作用，可以對(duì)小至亞微米級(jí)的細(xì)微粒物（0.1～3微米）進(jìn)行有效收集。