切割機(jī)8230_ADT全自動雙軸12寸
ADT切割機(jī)8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的雙軸(對向)全自動晶圓切割機(jī)。切割工件尺寸可達(dá)12英寸。
ADT全自動雙軸12寸切割機(jī)8230特點(diǎn)：
· 靈活性-支持3英寸刀片；
· 支持1.8KW或2.2KW大功率主軸(適用于更高要求的切割)；
· 使用17英寸觸摸顯示屏，操作界面直觀；
全自動雙軸12寸切割機(jī)8230其它重要特點(diǎn)
· 切割效率高-大幅降低使用成本；
· 空氣主軸；
· 快速自動對齊及切割定位，提高切割效率；
· 高精度的自動刀痕檢測及切割質(zhì)量分析；
· 切割過程數(shù)據(jù)記錄和統(tǒng)計(jì)分析；
· 更換刀片時鎖定主軸，操作更快速、簡便；
· SECS/GEM通信標(biāo)準(zhǔn)；
· 機(jī)器維護(hù)時可觸及系統(tǒng)的任何區(qū)域，帶來維護(hù)的便利性；
ADT 8230全自動雙軸12寸切割機(jī)規(guī)格：
MAX工作盤尺寸 φ300mm
X軸 切割范圍 310mm
進(jìn)刀速度輸入范圍 0.1-600mm/s
Y1&Y2軸 切割范圍 310mm
單步步進(jìn)量 0.0001mm
定位精度 Within 0.002/310 mm
（Single step accuracy）within 0.002/5
Z軸 行程 30mm（對應(yīng)2英寸刀片）
移動分辨率 0.0001mm
重復(fù)精度 0.001mm
θ軸 旋轉(zhuǎn)角度 380deg
主軸 主軸類型 對向式雙主軸
額定扭矩 0.33（1.8kw）N.m
回轉(zhuǎn)速 6,000 ～60,000(1.8KW)min-1
刀片尺寸 2"
視覺系統(tǒng) 1倍和8倍高清光學(xué)相機(jī) 相機(jī)光源：LED（直光 & 斜光）
尺寸（W×D×H） 1220 × 1550 × 1850 mm
重量 Approx 2000kg
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