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| 流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1ATM） | 50SCCM~5SLM | 5SLM超~20 SLM | |
|---|---|---|---|
| 可以氣體（干燥氣體） | N2，Air，O2，CO2，Ar，H2，He等 | ||
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方法（* 1） | 比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉） | ||
| 控制測量范圍 | 2.100％F.S. | ||
| 響應(yīng)速度（* 2） |
0→10%F.S.以下 4秒以內(nèi) 0→10%F.S.以上 2秒以內(nèi) |
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| 精度（* 3） | ±1.0％F.S. | ±1.5％F.S. | |
| 溫度系數(shù) | 0.2％F.S./°C（15~35°C） | ||
| 重現(xiàn)性 | ±0.75%F.S. | ||
| 耐壓 | 1000kPa（G） | ||
| 可工作壓力 | 500kPa（G）以下 | ||
| 工作壓差（* 1） | 50~300kPa（G） | 100~300kPa（G） | |
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | ||
| He泄漏率（* 4） | 1 x 10-8 Pa.m3/sec以下 | ||
| 流量設(shè)定方法 | 數(shù)字 | ①設(shè)定顯示器 ②通信 ③活動(dòng)輸入切換 | |
| 模擬信號(hào)（* 7） | ①0.5V ②4~20 mA（任意切換） | ||
| 流量輸出信號(hào) | ①0.5V ②4~20 mA（上述與連動(dòng)） | ||
| 顯示器 | 顯示方法 | 7段LED 4位數(shù) |
|---|---|---|
| 累計(jì)流量（* 5） | 12位數(shù) | |
| 安裝方向 | 可以變更 | |
| 一體/分離 | 一體/分離1m /分離3m/分離5m | |
| 狀態(tài)表示LED |
OK（允許范圍內(nèi)）/ ALM（警報(bào)輸出相關(guān)聯(lián)） OUT1（鏈接到活動(dòng)輸出1）/ OUT2（鏈接到活動(dòng)輸出2） SV（設(shè)定流量）/ PV（即時(shí)流量）/ TF（累計(jì)流量） IF（模式設(shè)定） |
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| 其他輸入/輸出功能 | 活動(dòng)輸入 | 3×觸點(diǎn)輸入 |
| 警報(bào)輸出 | 1 ×開路集電極輸出 MAX35 V：50 mA | |
| 活動(dòng)輸出 | 2 ×開路集電極輸出 MAX35 V：50 mA | |
| 通訊 | RS485 半雙工 9600bps | |
| 所需電源 |
24 VDC±10％（5％波動(dòng)） 消耗電流300mA以下 |
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| 安裝姿勢 | 未 | |
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，F(xiàn)KM，PTFE，氯丁橡膠（可選） | |
| 接頭（* 6） | 1/4 F 900（9/16-18 UNF），Rc 1/4,1/4 UJR | |
| 重量（* 7） |
一體型：約1000g， 分離型（不包括分離電纜）：約1200克 |
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（* 1）適用于質(zhì)量流量控制器類型。
（* 2）從完全關(guān)閉狀態(tài)到控制流量±2％FS到達(dá)時(shí)間。
（* 3）標(biāo)準(zhǔn)壓力（200kPA(G)）、標(biāo)準(zhǔn)溫度（20°C）情況下。
（* 4）不含滲透。 長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 5）單位隨滿量程流量變化。 示例：1SLM的情況時(shí)，最多可以累計(jì)到9999 9999 9.999L
（* 6）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 7）接續(xù)接頭會(huì)有少許變動(dòng)。
使用MODEL D8500的通信系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示例一臺(tái)Logging PC最多可記錄和操作31臺(tái)設(shè)備。
（安裝了通信終端電阻。
可開/關(guān)）
