羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040是專為超純水及特殊水處理設(shè)計(jì)的不再生型終端精制混床樹脂。此樹脂的使用，使得所有種類的離子，如二氧化硅、TOC及次微米顆粒濃度等的泄漏量，進(jìn)入了新低的紀(jì)元。由于為不再生型，此新種類的半導(dǎo)級(jí)混床樹脂不會(huì)受到再生系統(tǒng)的影響，并可在采水中發(fā)揮特性。AMBERJET UP6040并不建議用于可再生的混床系統(tǒng)中。

  一、羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040應(yīng)用及特性

  在半導(dǎo)體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的，復(fù)雜的系統(tǒng)，并包含了許多不同的單元，而整個(gè)系統(tǒng)的功能及設(shè)計(jì)主要是為了得到極致的超純水。雖然沒有任何單一的單元可以確保采水水質(zhì)，但是終端精制混床是超純水在接觸到半導(dǎo)體芯片前的一道化學(xué)精制的處理程序，其重要性是不可忽視的。不像對(duì)化學(xué)物質(zhì)呈惰性的管路及過濾材料，離子交換樹脂是帶化學(xué)性反應(yīng)的聚合物，所有的待處理水會(huì)完全的通過樹脂，因此精制混床樹脂是除去微量化學(xué)污染物質(zhì)的一道防線。除此之外，這些樹脂絕不能釋出任何物質(zhì)，進(jìn)而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因?yàn)檫@些嚴(yán)格的條件，終端精制混床樹脂必須是高的品質(zhì)，且同時(shí)必須是準(zhǔn)確的被使用的。

  二、羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040工作交換容量

  與一般的離子交換樹脂應(yīng)用相比較，交換容量在超純水系統(tǒng)的終端精制混床應(yīng)用上并不是主要的因素，因?yàn)榫苹齑驳娜胨|(zhì)所殘余的不純物，應(yīng)該已是ppb的范圍。因此終端精制混床樹脂床的設(shè)計(jì)，是在不超過樹脂的離子交換速率范圍內(nèi)，以流量及床體接觸時(shí)間為主要的參考數(shù)據(jù)。

  三、羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040流量及壓差

  流量是非常重要的設(shè)計(jì)參數(shù)。對(duì)終端精制混床樹脂而言，體積流量不應(yīng)低于30BV/h(3.8gpm/ft3)。在流量高達(dá)50BV/h(6.3gpm/ft3)的操作條件下，也是經(jīng)常所采用的設(shè)計(jì)，且證明可得到極佳的結(jié)果，在某些系統(tǒng)，所設(shè)計(jì)的流量更是略高過此數(shù)據(jù)。因此流量的設(shè)計(jì)是由具經(jīng)驗(yàn)的超純水處理系統(tǒng)制造商，依系統(tǒng)的供水純度要求及工程參數(shù)之間，折衷權(quán)衡后所獲得的選擇。而AMBERJET UP6040可以滿足這些設(shè)計(jì)中，對(duì)終端精制混床樹脂的所有要求。

  四、羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040 TOC

  在AMBERJET UP6040的制造過程中，已嚴(yán)格的控制并減少從樹脂內(nèi)所釋放出的TOC總量。雖然使用了純凈的、預(yù)先混合及不易分離的超純水等級(jí)的離子交換樹脂，以得到較少的TOC泄漏量，但是由于儲(chǔ)存、運(yùn)送、樹脂的拿取及加載桶槽等程序，仍會(huì)造成采水初期短暫的TOC泄漏釋出。在適切的儲(chǔ)存及正確的樹脂拿取及加載程序下，此TOC的釋放并不會(huì)持續(xù)太久的時(shí)間。大部份的情形下，AMBERJET UP6040可在6個(gè)小時(shí)的清洗時(shí)間內(nèi)，將TOC的泄漏量減少至1.0ppb以內(nèi)。

  羅門哈斯公司針對(duì)AMBERJET UP6040測試了電阻值、總有機(jī)碳值及離子交換速率的特性，保證每批次的羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040均能符合生產(chǎn)超純水所需要非常嚴(yán)苛的特性參數(shù)，并可滿足使用單位的需求。