
氣體傳感器闡述
非電阻型也是一類較為常見半導(dǎo)體氣敏器件,這類器件方便,無需設(shè)置溫度,易于集成,得到廣泛。有結(jié)型和MOSFET型兩種。
結(jié)型氣敏傳感器件又稱氣敏二極管,這類氣敏器件是利用氣體改變二極管整流特性來。其如下左所示。它是:Pd對氫氣具有性,它與半導(dǎo)體接觸形成接觸勢壘。當(dāng)二極管加正向偏壓時(shí),從半導(dǎo)體流向金屬電子將增加,因此正向是導(dǎo)通。
氣體傳感器描述
當(dāng)加負(fù)向偏壓時(shí),載流子基本沒有變,這是肖特基二極管整流特性。在氣氛中,由于對氫氣吸附,功函數(shù)改變,接觸勢壘減弱.導(dǎo)致載流子增多,正向電流增加,二極管整流特性曲線會(huì)發(fā)生左移。下右為Pd—TiO2氣敏二極管在不同濃度H2空氣中特性曲線。因此,通過測量二極管正向電流氫氣濃度。
氣體傳感器類型
固定PO21實(shí)際上是極形成電位固定電極,即參比電極,有氣體參比電極和共存相參比電極兩種。氣體參比電極是空氣或其他混合氣體,如:H2一H2O,CO一CO2也能形成固定PO21。共存相參比電極是指金屬金屬氧物、金屬氧物高價(jià)金屬氧物混合粉末固相,這些混合物與氧氣氣相混合發(fā)生氧反應(yīng)能形成同定氧壓,因此也能作為參比電極。