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氦氣純度：工業(yè)氦   氦氣純度：≥99%  氖（氫）、氧（氬）、氮、甲烷總含量，%≤1   水分含量，露點(diǎn)，≤-43℃

純氦    優(yōu)等品一等品合格品  氦氣純度，%≥99.99599.99399.99  氖含量，ppm≤152540

氫含量，ppm≤357   氧（氬）含量，ppm≤355   氮含量，ppm≤101725   一氧化碳，ppm≤111

二氧化碳，ppm≤111   甲烷量，ppm≤111   水分含量，ppm≤101520

高純氦氣   氦氣純度>99.999%，雜質(zhì)含量（ppm）：O2≤0.5，N2≤1.0，CO≤0.5，CO2≤0.5，

CH4≤0.5，H2O≤0.5，Ne≤8.0；

超純氦氣   氦氣純度>99.9999%，雜質(zhì)含量（ppm）：N2≤0.5，O2≤0.5，Ne≤0.5，CO≤0.1，

CO2≤0.1，THC≤0.1，H2O≤0.2；