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URE-2000系列光刻機(jī)
型號(hào)：17
一. 技術(shù)特征
1、采用多反射鏡實(shí)現(xiàn)均勻照明；
2、采用球氣浮找平，調(diào)平精度高；
3、高倍率雙目雙視場顯微鏡和
并提供USB輸出；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光
結(jié)果和方便存儲(chǔ)；
4、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，溫度小于35度）
5、手動(dòng)上下版、樣片，手動(dòng)調(diào)平；手動(dòng)分離間隙。
6、快門可以單獨(dú)開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）
7、采用200W進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；設(shè)備外形美觀精制
性能非常可靠
二、主要技術(shù)指標(biāo)：
1、曝光面積：ф
2、分辨力： 1.7µm（膠厚2 µm的正膠）；
3、對(duì)準(zhǔn)精度： ±1µm；
4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、樣片尺寸：直徑ф
厚度
7、照明均勻性：±6%（ф
8、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±
9、汞燈功率：200W（直流）；
10、曝光波長：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式）
13、外形尺寸：
