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雙風(fēng)口方式，其中下風(fēng)口風(fēng)量保持恒定，上風(fēng)口圓周上分為若干個(gè)風(fēng)道，每個(gè)風(fēng)道由風(fēng)室、閥門(mén)、電機(jī)等組成，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門(mén)調(diào)整風(fēng)道開(kāi)口度，控制每個(gè)風(fēng)道風(fēng)量大小。
控制過(guò)程中，由測(cè)厚探頭檢測(cè)到薄膜厚薄信號(hào)傳送到計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)把厚薄信號(hào)與當(dāng)前設(shè)定平均厚度進(jìn)行對(duì)比，根據(jù)厚薄偏差量以及曲線變化趨勢(shì)進(jìn)行運(yùn)算，控制電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門(mén)移動(dòng)，當(dāng)薄膜偏厚時(shí)，電機(jī)正向移動(dòng)，風(fēng)口關(guān)?。幌喾?，電機(jī)反向移動(dòng)，風(fēng)口增大，通過(guò)改變風(fēng)環(huán)圓周上各點(diǎn)風(fēng)量大小，調(diào)整各點(diǎn)冷卻速度，使薄膜橫向厚薄偏差控制在目標(biāo)的范圍。
雙層風(fēng)環(huán)由風(fēng)機(jī)送來(lái)的冷卻氣流經(jīng)風(fēng)環(huán)風(fēng)室恒壓后分配到每個(gè)風(fēng)道上，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門(mén)作開(kāi)合運(yùn)動(dòng)以調(diào)整風(fēng)口及風(fēng)量的大小，改變模頭出料處膜坯的冷卻效果，從而控制薄膜厚度，從控制過(guò)程看，薄膜厚度變化與電機(jī)控制量之間找不到明確關(guān)系，不同厚度薄膜以及閥門(mén)不同位置厚薄變化與控制量之間程非線性無(wú)規(guī)律變化，每調(diào)整一個(gè)閥門(mén)時(shí)對(duì)相鄰點(diǎn)影響都很大，且調(diào)整有滯后性，使不同時(shí)刻之間又互相關(guān)聯(lián)，對(duì)于這種高度非線性、強(qiáng)耦合、時(shí)變性和控制不確定性系統(tǒng)，其精確數(shù)學(xué)模型幾乎無(wú)法建立，即使能建立數(shù)學(xué)模型，也非常復(fù)雜，難以求解，以致沒(méi)實(shí)用價(jià)值，而傳統(tǒng)控制對(duì)較確定控制模型控制效果較好，而對(duì)于高度非線性，不確定性，復(fù)雜反饋信息控制效果很差甚至無(wú)能為力。鑒于此我們選擇了模糊控制算法。同時(shí)采用改變模糊量化因子方式更好適應(yīng)系統(tǒng)參數(shù)的改變。
