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二維材料設(shè)備CVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品價(jià)格: 55500/人民幣 
最后更新: 2018-06-06 11:06:31
產(chǎn)品產(chǎn)地: 安徽合肥市
發(fā)貨地: 合肥 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 1047
詢價(jià)  試用會(huì)員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
  •  
    產(chǎn)品詳細(xì)說明

    此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器,輔助二維材料蒸發(fā),后端為溫區(qū)管式爐,溫度控制精確,操作簡便。并配質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)和真空系統(tǒng),可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力和氣體流量,對于做低壓CVD實(shí)驗(yàn)非常實(shí)用,重復(fù)性好

    硫粉預(yù)熱器

    工作溫度:400℃

    最高溫度:1200℃

    最快升溫速率:≤30℃/min

    推薦升溫速率:10℃/min

    控溫方式:智能化30段可編程控制

    工作電壓:AC220V

    額定功率:800W

    控溫精度:±1℃

    加熱元件:電阻絲

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    加熱區(qū)參數(shù):

     

    額定功率:5kw

    最高溫度:1200℃

    工作溫度:1100℃

    最大升降溫速率:≤30℃/min

    爐管尺寸:高純度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管徑可選)

    加熱區(qū)長度:200+200mm  

    恒溫區(qū)長度:290mm

    控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

    標(biāo)準(zhǔn)配件:石英管1支,莫來石管堵2對,不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支;

    尺寸:約 550×380×600 mm(爐子)

    約:1700×380×620 mm(爐子+滑軌)

    可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。

     

     

     

     

     

     

     

    氣路系統(tǒng)參數(shù):

     

    質(zhì)量流量計(jì)參考量程(N2)100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

    準(zhǔn)確度:±1.5%

    線性:±0.51.5%

    重復(fù)精度:±0.2%

    響應(yīng)時(shí)間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

    工作壓差范圍:0.10.5 MPa

    最大壓力:3MPa

    接口:Φ6,1/4''

    顯示:4位數(shù)字顯示

    工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

    內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

    壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

    截止閥:Φ6

    連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

    可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。

     

     

     

     

     

     

     

    低真空系統(tǒng)參數(shù):

     

    國產(chǎn)油泵型號:BSV-10

    抽速:10m3/h

    極限真空度:5*10-1pa

    電源:220v 50hz

    電機(jī)功率:0.4kw  

    進(jìn)排氣連接口:KF25

    用油量:1.1L

    電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440rpm

    工作環(huán)境溫度:5-40℃

    噪音:≤56db

    電阻真空計(jì)參數(shù):

    1.配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī),

    2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

    3.測量路數(shù): 1路

    4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

    5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載,

    6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

    7.功耗: 20W

     

     

     

     使用注意事項(xiàng)

     

     

     

     

     

     

    • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 。  
    • 當(dāng)爐體溫度高于1000時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的 氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
    •  石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。
    •  對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

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