雙級油式旋片真空泵/替代愛德華E2M80、愛發(fā)科VDN90真空泵

產(chǎn)品說明：

愛德華E2M80雙級油式旋片真空泵是理想中的中、高真空獲得設備，用于抽除普通空氣或惰性氣體和少量可凝性蒸汽。

產(chǎn)品用途：

主要應用于真空鍍膜、微電子、光電半導體、封裝測試、真空含浸、等離子清洗行業(yè)。

工作原理：

由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片，將定子分隔成兩個工作腔（高、低級工作腔），旋轉(zhuǎn)時，雙級旋片式真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動，使得高級工作腔容積周期性擴大而吸氣，低級工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而獲得真空。當吸入壓力較高時（例如從大氣壓開始吸氣），氣體在高級腔被壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過中壁內(nèi)的級間通道進入低級腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出，此時高低級腔同時排氣；當吸入壓強較低時（例如泵工作一段時間之后），氣體由吸氣口進入高級腔，氣體在高級腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過級間通道進入低級工作腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出。

產(chǎn)品參數(shù)：

抽   速：每小時80立方米；

真空 度：0.004mbar；

極限真空度：0.0004mbar；

功   率：2.2kw；

進氣口徑：ISO40；

排氣口徑：NW25；

轉(zhuǎn)速：1450rpm

電   壓：三相380V；

體積（長寬高）：870*266*428mm；

重   量：125kg；

噪   音：70dB；

油   量：5L

產(chǎn)品關鍵詞：雙級油式旋片真空泵、愛德華E2M80真空泵、高真空度真空泵