| 產(chǎn)品參數(shù) |
| 品牌 | Mycro |
| 是否支持加工定制 | 否 |
| 是否進口 | 否 |
| 曝光光源 | 紫外LED |
| 光源波長 | 365nm |
| 曝光面積 | 4英寸/6英寸 |
| 曝光方式 | 單面接觸式定時曝光 |
| 曝光分辨率 | 2μm |
| 曝光強度 | 20~200mW/cm2 |
| 曝光不均勻性 | ≤5 |
| 光源平行性 | ≤2° |
| 可售賣地 | 全國 | |
1.產(chǎn)品介紹
桌面微型光刻機，專為微米級圖案制作而設計，旨在保障卓越的圖形轉(zhuǎn)移精度。設備采用紫外LED冷光源，結(jié)合雙非球面石英透鏡，可生成半角<2°的平行光，相較傳統(tǒng)接觸式曝光機，其極致緊湊的體積將移形換影置于桌面之上，為操作提供了便利與精準。
該光刻機廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業(yè)展開微細加工工藝研究。緊隨現(xiàn)代技術的步伐，桌面微型光刻機的問世為微納加工注入了新的活力，助力客戶在項目目標的實現(xiàn)過程中邁向更高精度、更具創(chuàng)新性的階段。
2.技術參數(shù)
曝光光源:紫外LED；
光源波長:365nm;
曝光面積:4英寸、6英寸可選;
曝光方式:單面接觸式定時曝光;
曝光分辨率:2um;
曝光強度:30~120mW/cm2可調(diào)；
曝光不均勻性:<5;
光源平行性:≤2°
光源壽命:>20000h;
電源輸入:AC220V±10V，50HZ
功率:250W
重量:約22kg
外形尺寸:382(長)*371(寬)*435(高)工作環(huán)境:溫度0℃-40℃，相對濕度<80
