格里爾斯質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。

格里爾斯采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。



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