?面板尺寸：圓形，直徑352mm
?面板材質(zhì)：鋁
?適用硅片：直徑小于305mm
?控制方式：標(biāo)配的臺式控制器可進(jìn)行遠(yuǎn)程編程控制，也可通過RS232 I / O端口進(jìn)行PC或工業(yè)控制器遠(yuǎn)程控制
?程序控制：可設(shè)置5個(gè)程序，每個(gè)程序可設(shè)置10個(gè)步驟，程序可進(jìn)行1-99次或無限次循環(huán)
?加熱板底部有溫度指示燈環(huán)，未運(yùn)行時(shí)為藍(lán)色，加熱并溫度低于50℃為黃色，高于50℃時(shí)為紅色。當(dāng)溫度穩(wěn)定在±0.2℃時(shí)燈光閃爍。
?內(nèi)置可聲音報(bào)警倒計(jì)時(shí)器，并可設(shè)定自動關(guān)閉
?溫度范圍：室溫到350℃
?溫度可讀性：1℃
?溫度精度：設(shè)置溫度的1，已校準(zhǔn)到0.1℃以保證準(zhǔn)確性
?溫度均一性：中心點(diǎn)到19mm半徑以內(nèi)的溫度差小于1
?溫度穩(wěn)定性：±1℃
?溫度梯度范圍：1-450℃/hr，1℃可調(diào)
?功率：1500w

加熱面板規(guī)格：
外形：直徑352mm，高146mm
重量：9.5kg

控制器規(guī)格：
外形：長127mm x寬64mm x 高102mm
重量：0.5kg