高精度紫外光刻機
型號：URE-2000/25 URE-2000/25L
主要技術(shù)指標：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚1.5μm的正膠）
對準精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點：
球氣浮實現(xiàn)高精度調(diào)平；超精密手輪對準調(diào)節(jié)，單片機控制,觸摸開關(guān)操作；整機精度高、性能可靠