Tergeo Pro大尺寸臺(tái)式等離子清洗機(jī)

Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)將腔室直徑增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)足夠大，可以容納 8 英寸晶圓，容納一兩個(gè) 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。射頻電源的頻率為 13.56MHz，提供比 KHz 射頻等離子系統(tǒng)更高的等離子生成效率。Tergeo 等離子系統(tǒng)不僅可以調(diào)整射頻功率，還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子。脈沖比可以從 調(diào)整到小于 1?？涿撌冶诮Y(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)外部電容耦合射頻電極設(shè)計(jì)。

以下是典型應(yīng)用案例：

光刻膠灰化、除渣和硅片清洗；

在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片；

生物醫(yī)用涂層前表面處理，提高醫(yī)用植入物的親水性；

環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)元件、玻璃、光纖頭和基板清潔；

PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室；

改善金屬與金屬或復(fù)合材料的粘合；

改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合；

Tergeo Pro等離子清洗機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.大型樣品室

針對(duì)大尺寸基片而研發(fā)設(shè)計(jì)，腔室足夠大，可容納8英寸晶圓，一個(gè)或兩個(gè) 25片/50片 6"/4"晶圓 的石英舟。

2.等離子傳感器

可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子狀態(tài)，并為用戶提供不同配方條件下等離子強(qiáng)度的定量反饋，實(shí)時(shí)顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監(jiān)測(cè)等離子灰化過(guò)程的進(jìn)程并用作終點(diǎn)指示器。

3.連續(xù)或脈沖等離子

脈沖比可以從 調(diào)整到小于1。改變等離子體強(qiáng)度超過(guò)幾個(gè)數(shù)量級(jí)。

4 的過(guò)程控制功能

壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計(jì)、等離子強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。

Tergeo Pro等離子清洗機(jī)的技術(shù)參數(shù)：