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微波等離子清洗機

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產(chǎn)品價格: 0/人民幣 
最后更新: 2012-11-27 15:08:19
產(chǎn)品產(chǎn)地: 山東招遠
發(fā)貨地: 山東招遠 (發(fā)貨期:當天內(nèi)發(fā)貨)
供應數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 702
詢價  試用會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 招遠普斯瑪?shù)入x子技術有限公司
    • 張經(jīng)理先生 經(jīng)理
    • 會員[試用會員產(chǎn)品]
    • 郵件psmdlz@163.com
    • 手機13356932252
    • 電話
    • 傳真
    • 地址山東省招遠市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)招金路518號
    • 進入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細說明
    WB300采用專利高密度微波等離子技術,用于半導體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預處理,微波等離子高度活性、高效,且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。   微波等離子體系統(tǒng)是下列用途的理想方式:
  • 等離子體表面改性
  • 有機物表面等離子體清潔
  • 邦定強度增強
  • 等離子體刻蝕應用
  • 等離子體灰化應用
  • 增強或減弱浸潤性
  • 其它等離子體系統(tǒng)應用
    >> 技術參數(shù)   外形尺寸(不包括報警燈)

    1000(W)×800(D)×1750(H)mm

      倉體結構(石英,約20升)

    Φ 245mm ×400Lmm  

      等離子發(fā)生器(德國)

    頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),可連續(xù)長時間工作

      控制系統(tǒng)

    觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

      真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)

    英國愛德華斡旋式干泵 GV40

    美國MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器      

    臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管 

      充氣系統(tǒng)

    美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(2路氣體配制)

    美國世偉洛克氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥

    日本SMC及CKD高真空氣閥組件


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