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真空等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品價(jià)格: 0/人民幣 
最后更新: 2012-11-27 15:08:22
產(chǎn)品產(chǎn)地: 山東招遠(yuǎn)
發(fā)貨地: 山東招遠(yuǎn) (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長(zhǎng)期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 283
詢價(jià)  試用會(huì)員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司
    • 張經(jīng)理先生 經(jīng)理
    • 會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
    • 郵件psmdlz@163.com
    • 手機(jī)13356932252
    • 電話
    • 傳真
    • 地址山東省招遠(yuǎn)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)招金路518號(hào)
    • 進(jìn)入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
    外形尺寸

     570(W)×420(D)×740(H)mm

      倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(不銹鋼,約20升)

     420(W)×270(D)×170(H)mm

      電極面積

     250(W) ×190(D) mm,3層  

      清洗模式

     RIE or DP模式自動(dòng)轉(zhuǎn)換

      等離子發(fā)生器(韓國(guó)KM)

     頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配

      控制系統(tǒng)

     觸摸屏(7寸)+PLC單步法全自動(dòng)控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,

    性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式

      真空系統(tǒng)

     德國(guó)萊寶(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

     進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥,德國(guó)(Inficon)壓力傳感器

      壓力控制

     PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制

      氣路系統(tǒng)

     2路工藝氣體+1路氮?dú)馀渲?,電子質(zhì)量流量計(jì)、針閥,美國(guó)飛托克(FITOK)氣體管路


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