LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴散、氧化等工藝。

特點：

★關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性。

★具有可編程的升、降溫功能。

★具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護(hù)功能。

★可存儲九條工藝曲線。每條工藝曲線最多有九步。

★曲線間可以任意鏈接、重復(fù)。

★具有高抗干擾能力。

★具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。

★可為您提供斜滾式推拉舟系統(tǒng)，石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù)：

★可配工藝管數(shù)量：1~4管/臺；        ★工作溫度范圍：400～1300℃；

★恒溫區(qū)長度及精度：300～1000mm    600~1280℃±0.5℃；

★單點溫度穩(wěn)定性：600～1280℃±0.5℃/24h；     ★最大可控升溫速度：15℃/min

★最大降溫速度：5℃/min