專業(yè)生產(chǎn)供應太陽能擴散爐

產(chǎn)品價格：	10000/人民幣
最后更新：	2014-10-30 14:10:30
產(chǎn)品產(chǎn)地：	青島
發(fā)貨地：	青島 (發(fā)貨期：當天內(nèi)發(fā)貨)
供應數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	106

公司基本資料信息

青島福潤德微電子設備有限公司
岳曉茜小姐業(yè)務員
會員[試用會員產(chǎn)品]
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手機15314229122
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地址青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園6號

產(chǎn)品詳細說明

太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。

擴散爐技術指標：
     t可處理硅片尺寸：212英寸
     t外型形式：臥式14管結構
     t工作溫度：200℃1300℃
     t恒溫區(qū)長度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃
     t單點溫度穩(wěn)定性、重復性： ≤±1℃/24h
     t溫度斜變：可控升溫速率15℃／min
     t可控降溫速率： 5℃／min
     t送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
     t氣路系統(tǒng)：15路工藝氣體／管
     t氣體控制：全自動MFC
     t控制方式：工控機、觸摸屏

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