從結(jié)構(gòu)上分為臥式、立式、箱式，從真空度上分為低真空、高真空，從使用溫度上分為低溫、高溫，從真空室材料上分為石英管、耐熱 不銹鋼管，從真空獲得上分機(jī)械泵、機(jī)械泵＋擴(kuò)散泵、機(jī)械泵＋分子泵。 設(shè)備用途：廣泛用于電力電子器件、玻封二級(jí)管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)、封裝、焊接、合金、退火等工藝。 主要技術(shù)指標(biāo)： ★工位： 單、雙、三工位 ★工作溫度： 300～1100℃（不銹鋼真空室最高1000℃） ★真空度： 優(yōu)于5×10-3 Pa ★真空室直徑：Φ150～300 mm ★恒溫區(qū)長(zhǎng)度：400～1000 mm ★控制精度： ±1.0～3.0℃ ★爐體移動(dòng)速度：0～400 mm/min ★最大充氣壓力：0.5 MPa （不銹鋼真空室） ★加熱功率： 10～80 KVA ★控制系統(tǒng)： 進(jìn)口儀表＋PLC＋觸摸屏 ★安全連鎖保護(hù)：超溫、斷偶、缺水、壓力異常保護(hù)報(bào)警
