二．     自動載物臺

【HDS維氏軟件：6020，8820，8920】

•      手動（控制轉(zhuǎn)塔）；半自動（XY）；全自動（XYZ）；

•      特點(diǎn)與優(yōu)勢：二高一寬；

²  二高：壓痕識別：~0.5s，自動對焦：~5s；

²  一寬：功能多且靈活；

•      高速拼接全景圖、邊緣輪廓掃描；

•      輪廓、法線、Z形路徑組合規(guī)劃；

•      手動、自動、多硬度值標(biāo)定優(yōu)選；

•      界面任意拖動布局；

•      報(bào)告內(nèi)容格式多樣；

•      手輪升降優(yōu)選圖像；

【XY半自動臺（XYZ全自動臺）：T2-10, T2-20, T2-30, T2-40】

•      精度、行程、速度、剛性、防塵；

•      精度：15um => 10um => ~5um；

•      行程：50x50 => 60x100；

•      速度：4~8倍；

•      承重：50kgF；

•      防塵：密封設(shè)計(jì)，適宜惡劣工況。