- 產(chǎn)品
- 供應(yīng)
- 公司
- 新聞
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
| 規(guī)格參數(shù) |
|
型 號(hào)
|
VPC-1100 | |
| 真空性能 |
極限壓力
|
4.0 × 10-4Pa 1.3 × 10-4Pa (使用液氮時(shí)) |
|
排氣時(shí)間
|
4.0 × 10-3Pa/10min 10-4Pa/10min (使用液氮時(shí)) |
|
| 真空艙 |
鐘罩尺寸
|
玻璃鐘罩 （直徑390mm × 350mm(H)) |
|
饋通圈
|
20個(gè)端口（14側(cè)面、6底面） | |
|
標(biāo)準(zhǔn)基板・最大尺寸※1
|
□50mm ・ □220mm（最大） | |
| 供電系統(tǒng) |
蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu)
|
3點(diǎn)式 |
|
蒸發(fā)電源
|
SEREM “PSE-150C”，0 – 10V ，150A (最大) | |
| 排氣系統(tǒng) |
主泵※2
|
油擴(kuò)散泵（水冷） 1100 L/sec |
|
液氮冷阱
|
有 | |
|
前級(jí)泵
|
油旋片真空泵 100 L/min ×2 | |
|
油霧過(guò)濾器
|
可選 | |
| 操作系統(tǒng) |
主閥門
|
瓣閥 |
|
副閥門
|
三向切換閥 | |
|
自動(dòng)滲漏閥
|
可選 | |
|
控制
|
手動(dòng)控制 | |
| 控制系統(tǒng) |
皮拉尼真空計(jì)
|
GP-1G |
|
電離真空計(jì)
|
可選 | |
| 外形 |
尺寸（主體）
|
1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H) |
|
尺寸（蒸發(fā)電源）
|
安裝在設(shè)備的主體 | |
|
重量（主體）
|
313kg | |
|
重量（蒸發(fā)電源）
|
安裝在設(shè)備的主體 | |
| 條 件 |
|
型 號(hào)
|
VPC-1100 | |
| 電源需求 |
主體
|
三相, 200V, 5.0kVA |
|
主體
|
單相, 100V, 1.0kVA | |
| 接地端子 | D級(jí)（接地抗阻/100Ω 或更低） | |
| 附件 |
主體 ： 三相，200V
|
乙烯絕緣軟電纜（R3.5-4帯端子） 4m |
|
主體 ： 單相，100V
|
乙烯絕緣軟電纜（帶插頭） 4m | |
| 用水需求 | 1.5L/min（水溫：低于20-25℃，水壓：200kPa） | |
| 附件 | Rp1/4 (帶"Kantouch"軟管接頭) | |
| 推薦軟管※ | 蒂托輪編織軟管（內(nèi)徑9mm×外徑15mm） | |
| 外形圖 |
 VPC-1100 |
|
|
蒸發(fā)電源 SEREM
|
|
|
| 饋通圈 |
