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• 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
• 低振動(dòng)低噪音。
• 維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。
• 分析設(shè)備
• 氣體回收系統(tǒng)
• 涂料設(shè)備
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• TMP 前級(jí)泵
• 氦滲漏探測(cè)器
• 半導(dǎo)體制造工藝
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單位 |
50Hz |
60Hz |
實(shí)際抽速
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L/min |
250 |
300 |
極限壓力
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Pa |
1.6 |
馬達(dá)
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單相 |
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100/115/200/230V, 400W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行
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三相 |
200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P
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滿載電流
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單相 |
A |
4.8/2.6/2.4
(100/200/230V)
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4.8/4.3/2.8/2.4
(100/115/200/230V)
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三相 |
1.6/0.9/0.9/1.0
(200/380/400/415V) |
1.9/1.9/1.8/1.0
(200/208/230/460V) |
重量
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單相 |
kg |
25.0 |
三相 |
23.0 |
進(jìn)出氣管道直徑
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進(jìn)氣管KF-25 出氣管 KF-16 |
環(huán)境溫度
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°C |
5 – 40 |
水蒸氣處理
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g/天 |
≤25 (A.F. 開(kāi)啟) |
尺寸
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單相 |
mm |
252(W) × 400(L) × 336(H)
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三相 |
252(W) × 370(L) × 336(H) |
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