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活塞干式真空泵通過(guò)氣缸內(nèi)皮碗密封的往復(fù)運(yùn)動(dòng)
來(lái)形成真空狀態(tài)。泵速體積越大,泵機(jī)揚(yáng)程數(shù)越高。
• 真空吸盤(pán)
• 半導(dǎo)體工業(yè)。(處理裝置,安裝器)
• FPD 工業(yè)。(貼合機(jī))
• 印刷設(shè)備
• 注模
• 吸附與輸送 |
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單位 |
50Hz |
60Hz |
實(shí)際抽速
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L/min |
420 |
460 |
極限壓力
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Pa |
17.3 × 103 |
馬達(dá)
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三相, 200V, 550W, 4P |
滿(mǎn)載電流
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A |
3.5 |
3.1 |
重量
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kg |
33.0 |
進(jìn)出氣管道直徑
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mm |
外徑26 × 內(nèi)徑20 (Rc 3/4) |
環(huán)境溫度
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°C |
0 – 40 |
尺寸
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mm |
310(W) × 523(L) × 253(H) |
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