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樊振華：銷售經(jīng)理
電 話：010-89537435
手 機(jī)：18201099680
傳 真：010-89537435
LTVL/lTVH/LTXL/LTXH系列-真空高低溫耐輻射步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（可以定制）
行程： 50 to 250mm；
分別率：1um/步；
無回滯，剛性強(qiáng)；
承載能力：20kg；
可直接堆疊 XYZ三軸平臺(tái)
真空度：1 x 10-10 mBar；
烘烤溫度：200°C；
交叉滾子軸承；
防輻射： 1 x 106 Gy ；
可以根據(jù)客戶要求定制，也可以定制固體潤滑的方式；
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規(guī)格 |
單位 |
LTVL |
LTVH |
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行程 |
mm |
50/ 100 / 150 /200 /250 |
50/ 100 / 150 /200 /250 |
|
整步分別率 |
μm |
5 |
1 |
|
最大速度 |
mm/s |
15 |
4 |
|
推薦真空環(huán)境中速度 |
mm/s |
2 |
0.8 |
|
重復(fù)定位精度 |
μm |
1 |
0.2 |
|
水平負(fù)載能力 |
kg |
20 |
20 |
|
負(fù)載力矩 |
Nm |
<5 |
<5 |
|
軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A |
kg |
3 |
10 |
|
間隙 |
μm |
0 |
0 |
|
轉(zhuǎn)動(dòng), 俯仰 & 偏載 (無負(fù)載 |
μrad |
<25 |
<25 |
|
Roll Compliance |
μrad/Nm |
33 |
33 |
|
Pitch & Yaw Compliance |
μrad/Nm |
33 |
33 |
|
直線度 |
μm |
<1.3μm / 100mm |
<1.3μm / 100mm |
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使用步進(jìn)電機(jī) |
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D35.1 |
D35.1 |
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真空度 |
mBar |
1 x 10-10 |
1 x 10-10 |
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最大恩度 |
°C |
200 |
200 |
|
MTBF (5kg負(fù)載和30%占空比) |
hrs |
15,000 |
10,000 |
行程：25 to 85mm；
分別率：1um/步；
無回滯，剛性強(qiáng)；
承載能力：50kg；
可堆疊為X Y Z三軸；
真空度： 1 x 10-10 mBar；
烘烤溫度： 200°C；
交叉滾子軸承
防輻射： 1 x 10~6 Gy；
可根據(jù)客戶要求定制；
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規(guī)格 |
單位 |
LTXL |
LTXH |
|
行程 |
mm |
25 / 55 / 85 |
25 / 55 / 85 |
|
整步分別率 |
μm |
5 |
1 |
|
最大速度 |
mm/s |
15 |
4 |
|
推薦真空環(huán)境中速度 |
mm/s |
2 |
0.8 |
|
重復(fù)定位精度 |
μm |
1 |
0.2 |
|
水平負(fù)載能力 |
kg |
50 |
50 |
|
負(fù)載力矩 |
Nm |
<20 |
<20 |
|
軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A |
kg |
3 |
10 |
|
間隙 |
μm |
0 |
0 |
|
轉(zhuǎn)動(dòng), 俯仰 & 偏載 (無負(fù)載) |
μrad |
<25 |
<25 |
|
Roll Compliance |
μrad/Nm |
5 |
5 |
|
Pitch & Yaw Compliance |
μrad/Nm |
2 |
2 |
|
直線度 |
μm |
<1.3μm / 100mm |
<1.3μm / 100mm |
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使用電機(jī) |
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D35.1 |
D35.1 |
|
真空度 |
mBar |
1 x 10-10 |
1 x 10-10 |
|
最大溫度 |
°C |
200 |
200 |
|
MTBF (5kg 負(fù)載和30% 占空比) |
hrs |
15,000 |
10,000 |
