在近期舉辦的“質(zhì)析毫微?譜繪萬象”半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會上,分析測試百科網(wǎng)采訪了雪迪龍子公司英國Kore公司總經(jīng)理Stephen James Mullock和技術(shù)專家Douglas Fraser Reich,揭秘了Kore如何以技術(shù)創(chuàng)新與定制化開發(fā)服務(wù)全球高端細分市場,以及其加入雪迪龍后,為中國應(yīng)用行業(yè)和質(zhì)譜研發(fā)注入源源不斷的動力。
1991年成立的Kore Technology,是國際飛行時間質(zhì)譜儀領(lǐng)域的開拓者之一。Kore的發(fā)展歷程始終與技術(shù)創(chuàng)新相伴,1993年,團隊因開發(fā)便攜式飛行時間質(zhì)譜儀,獲得英國貿(mào)易和工業(yè)部(DTI)SMART獎和基金資助,這款質(zhì)譜儀最終演變成今日的MS-200便攜式質(zhì)譜儀。1995年,團隊因開發(fā)用于固體樣品表面分析的新型臺式二次離子質(zhì)譜儀被DTI授予SPUR獎。該儀器可用于產(chǎn)品研發(fā)、質(zhì)量控制和故障診斷。基于這項研發(fā)成果,Kore最終推出了其SurfaceSeer系列TOF-SIMS二次離子質(zhì)譜儀。此后,Kore又成功研發(fā)了質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行時間質(zhì)譜儀(PTR-TOF MS)。在研發(fā)過程中,團隊創(chuàng)新性地開發(fā)了用于質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)的射頻離子漏斗,成為該技術(shù)領(lǐng)域的先驅(qū)。
2015年,北京雪迪龍科技股份有限公司控股收購Kore公司,并成立中國質(zhì)譜團隊,從事PTR-TOF MS的研發(fā)和環(huán)境監(jiān)測應(yīng)用。近年來雪迪龍開始將Kore高精尖的TOF-MS、TOF-SIMS等技術(shù)進一步轉(zhuǎn)化,為國內(nèi)材料及半導(dǎo)體行業(yè)服務(wù),也為國內(nèi)的研發(fā)機構(gòu)提供高端質(zhì)譜儀及核心部件的定制化開發(fā)。
依托核心技術(shù),Kore以飛行時間質(zhì)譜儀為核心,打造了TOF-SIMS、PTR-TOF MS、便攜式質(zhì)譜儀等一系列產(chǎn)品,還開發(fā)了基于電子轟擊電離技術(shù)的氣體分析設(shè)備。這些產(chǎn)品涵蓋小型、中型、大型等不同規(guī)格——從“可以裝在手提箱里的便攜式儀器”到滿足高端實驗需求的大型系統(tǒng),產(chǎn)品矩陣已覆蓋環(huán)境監(jiān)測、健康安全、材料研發(fā)、食品及半導(dǎo)體等多元領(lǐng)域。

SurfaceSeer-I是一款高靈敏度的TOF-SIMS,用于絕緣、導(dǎo)電表面的成像分析與化學(xué)成分分析,是表面化學(xué)研究、研發(fā)與工業(yè)質(zhì)量控制等方面的理想選擇。它配備了25kV液態(tài)金屬離子槍(LMIG),實現(xiàn)高空間分辨率的分析。它采用延遲提取技術(shù)產(chǎn)生二次離子,配置光學(xué)相機,具備表面成像和深度剖析功能,配置二次電子檢測系統(tǒng)SED,具有高度穩(wěn)定可調(diào)的樣品臺(X、Y、Z軸),滿足不同厚度樣品分析需求,其SIMS庫包含上千種材料的質(zhì)譜數(shù)據(jù),可識別未知的化合物和材料。
SurfaceSeer-S是一款結(jié)構(gòu)緊湊且價格合理的TOF-SIMS,用于快速檢測表面化學(xué)特性。它是研究樣品表面化學(xué)成分的理想選擇,適用于產(chǎn)品研發(fā)和工業(yè)質(zhì)量控制等。它采用低能電子槍(5KV Ar+/Cs+離子束),通過脈沖方式工作,實現(xiàn)樣品“無損”分析,可在1~2min內(nèi)實現(xiàn)高速率的正負質(zhì)譜分析,適用于導(dǎo)電物體表面和絕緣物體表面的分析,具有高分辨率、易于使用的特點,可選Surface Spectra Static SIMS Library(表面光譜靜態(tài)SIMS庫),包含1900多個譜圖和涵蓋1000多種材料數(shù)據(jù)。
雪迪龍和Kore合作開發(fā)了質(zhì)子轉(zhuǎn)移飛行時間質(zhì)譜PTR-TOF 4000和PTR-TOF 4000c,實現(xiàn)在線檢測痕量VOCs。其采用多試劑離子,可分析數(shù)百種VOCs,實現(xiàn)無需預(yù)處理,直接空氣進樣的實時在線監(jiān)測。檢出限低至pptv量級,可檢測痕量污染物,具有快速響應(yīng)能力,在(50~100)ms內(nèi)快速甄別污染物,并具有高質(zhì)量分辨率,準確識別化學(xué)組分,減少干擾。
MS-200便攜式質(zhì)譜儀采用手提式(23公斤)、電池供電設(shè)計,選擇性雙膜進氣口,最適合VOCs檢測。它可使用常規(guī)電子轟擊NIST質(zhì)譜庫,可檢測到低ppb級別的VOCs,典型響應(yīng)時間僅需30s。
Kore還為研發(fā)型實驗室開發(fā)了EI-TOF MS小型臺式飛行時間質(zhì)譜儀。它使用70eV標準電子轟擊電離源,譜圖結(jié)果可匹配NIST庫。它具有緊湊的外形和輕量化設(shè)計,便于安裝在多種系統(tǒng)內(nèi);膜進樣和毛細管雙進樣系統(tǒng)可適應(yīng)復(fù)雜應(yīng)用場景。
作為飛行時間質(zhì)譜儀領(lǐng)域的先行者,Kore憑借持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新、靈活的定制化服務(wù)及高性價比的產(chǎn)品,已在全球市場樹立起了專業(yè)的行業(yè)形象。雪迪龍和Kore后續(xù)有望為中國及全球用戶提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),進而為質(zhì)譜技術(shù)的應(yīng)用普及與行業(yè)發(fā)展帶來推動作用。